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直径:50.8±0.1mm 厚度:430±10μm 定位边:16±1mm 边缘倒角:45°
主切割面M-axis:0.2±0.05º,主切割面A-axis:0±0.1º, 定位面Aplance:0±0.2º
BOW(-6μm≤BOW≤0μm) TTV(≤4μm) LTV(≤1μm(5mm*5mm))
前表面质量:外延准备(Ra≤2Å) 背面粗糙度:0.6-1.0μm 洁净度:大于0.3μm的颗粒小于50个 缺陷:无裂纹、气孔、划伤、夹杂物、双晶 激光打标:可定制
纯度≥99.996%的单晶AL2O3
直径(φ2.500/-0.05mm φ2.900/-0.05mm φ3.500/-0.05mm φ4.000/-0.05mm φ7.000/-0.02mm)厚度(0.28±0.03mm 0.30±0.03mm 2.00±0.05mm)
主面晶向:C面(0001)光轴与主面垂直度:0±40′
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平行度(<3′<1′<2)平面度(N<2 N<5)
高纯蓝宝石单晶Al2O3
直径:50.8±0.1mm,厚度:430±10μm,定位边:16±1mm,晶片边缘:45°倒角
主切割面 M-axis:0.2±0.05º,主切割面 A-axis:0º±0.1º,定位面 A Plance:0º±0.2º
BOW:-6μm≤bow≤0μm,TTV:≤4μm,LTV(10*10mm):≤1μm
前表面质量:外延准备(Ra≤2Å),背面粗糙度:0.85-1.15μm,洁净度:无颗粒、无指纹损伤,缺陷:无裂纹、气孔、划伤、夹杂物、双晶, 激光打标:无
高纯度的单晶AL2O3
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